Истраживачи

Резултати 61-80 од 100
ГодинаНасловАутор(и)Тип резултатаМп-кат.
2015Kompenzacija konveksnog ugla u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %Smiljanić, Milče M.  ; Lazić, Žarko  ; Jović, Vesna ; Rašljić - Rafajilović, Milena  ; Cvetanović, Katarina  ; Vasiljević-Radović, Dana  Остало
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2014Prevention of Convex Corner Undercutting in Fabrication of Silicon Microcantilevers by Wet Anisotropic EtchingJović, Vesna ; Lamovec, Jelena  ; Mladenović, Ivana  ; Smiljanić, Milče  ; Popović, Bogdan  Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2014Realizacija PDMS (PoliDiMetilSiloksanskih) membrana nad - definisanim otvorima u Si {100} orijentacije postupcima zapreminskog - mikromašinstvaJović, Vesna ; Z. Đinović; Radovanović, Filip; M. Starčević; Lamovec, Jelena  ; Smiljanić, Milče  ; Lazić, Žarko  ; Popović, Bogdan  ; Vorkapić, Miloš  Техничко решење
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2014Study of possibilities of application of a thermopile-based gas sensorRanđelović, Danijela  ; Jakšić, Olga  ; Smiljanić, Milče  ; Lazić, Žarko  Научни чланак
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2014Glass Micromachining with Sputtered Silicon as a Masking LayerLazić, Žarko  ; Smiljanić, Milče  ; Rašljić, Milena  Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2014Simulation and experimental study of maskless convex corner compensation in TMAH water solutionSmiljanić, Milče  ; Radjenovic, Branislav  ; Radmilović-Radjenović, Marija  ; Lazić, Žarko  ; Jović, VesnaНаучни чланак
21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21
2014Kompenzacija konveksnog ugla u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %Smiljanić, Milče  ; Lazić, Žarko  ; Jović, Vesna ; Rašljić, Milena  ; Cvetanović, Katarina  ; Vasiljević-Radović, Dana  Техничко решење
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2014Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/AuLazić, Žarko  ; Smiljanić, Milče M.  ; Rašljić, Milena  ; Mladenović, Ivana  ; Radulović, Katarina  ; Sarajlić, Milija  ; Vasiljević-Radović, Dana  Остало
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2014Characterization of PDMS membranes fabricated by bulkmicromachining on silicon wafersJović, Vesna; Đinović, Zoran; Radovanović, Filip; Starčević, Marko; Lamovec, Jelena  ; Smiljanić, Milče  ; Lazić, Žarko  Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2014Wet isotropic chemical etching of Pyrex glass with masking layers Cr/AuLazić, Žarko  ; Smiljanić, Milče  ; Rašljić, Milena  ; Mladenović, Ivana  ; Radulović, Katarina  ; Sarajlić, Milija  ; Vasiljević-Radović, Dana  Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2013Nove primene procesa nagrizanja silicijuma u vodenom rastvoru TMAH u izradi MEMS senzoraSmiljanić, Milče  Докторска дисертација
70M70 - Одбрањена докторска дисертација
2013Realizacija Si mikrogredica vlažnim hemijskim nagrizanjem na podlogama (100) orijentacije primenom (100) kompenzacionih trakaJović, Vesna; Lamovec, Jelena  ; Mladenović, Ivana  ; Smiljanić, Milče  ; Lazić, Žarko  Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2013Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/AuLazić, Žarko  ; Smiljanić, Milče  ; Rašljić, Milena  ; Mladenović, Ivana  ; Radulović, Katarina  ; Sarajlić, Milija  ; Vasiljević-Radović, Dana  Техничко решење
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2013Eksperimentalno određivanje optimalne linearnosti senzora pritiskaMilan Matić; Lazić, Žarko  ; Radulović, Katarina  ; Smiljanić, Milče  ; Rašljić, Milena  Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2013Brzine nagrizanja kristalografskih ravni silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %Smiljanić, Milče  ; Lazić, Žarko  ; Jović, Vesna ; Rašljić, Milena  Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2013Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерењаJović, Vesna ; Lamovec, Jelena; Mladenović, Ivana  ; Smiljanić, Milče M.  ; Todorović, Dragan; Lazić, Žarko  ; Popović, Bogdan  ; Vukelić, BrankoОстало
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2012SOI piezoresistive low pressure sensor for high temperature environmentsSmiljanić, Milče  ; Radulović, Katarina  ; Lazić, Žarko  ; Jović, Vesna ; Popović, Bogdan  Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2012Maskless convex corner compensation technique on a (100) silicon substrate in a 25 wt% TMAH water solutionSmiljanić, Milče  ; Jović, Vesna ; Lazić, Žarko  Научни чланак
21aM21a - Водећи међународни часопис категорије M21a
2012Realizacija silicijumskih mikrogredica za fotoakustična - merenjaJović, Vesna ; Lamovec, Jelena  ; Mladenović, Ivana  ; Smiljanić, Milče  ; Todorović, Dragan M. ; Lazić, Žarko  ; Popović, Bogdan  ; Branko VukelićТехничко решење
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2012Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH u realizaciji SOI SP-11 i usavršavanju SP-9 i SP-12 senzora pritisakaSmiljanić, Milče  ; Lazić, Žarko  ; Jović, Vesna ; Radulović, Katarina  ; Branko Vukelić; Popović, Bogdan  ; Vasiljević-Radović, Dana  Техничко решење
Мп категорија ће бити приказана накнадно.