Rezultati

eNauka >  Rezultati >  ECR Plasma Etching Characterization using a Retarding Field Energy Analyzer
Naziv: ECR Plasma Etching Characterization using a Retarding Field Energy Analyzer
Autori: Milosavljević, Vladimir  ; B. Dolinaj; D. Gahan; N. Macgarailt; M. B. Hopkins; S. Daniels
Godina: 2012
Publikacija: The AVS 59th International Symposium and Exhibition, Tampa, Florida, USA
Izdavač: SAD
Tip rezultata: Konferencijski rad
Kolacija: str. PS1-WeA1.192-PS1-WeA1.192
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/165782
URL: http://www2.avs.org/symposium/AVS59/pages/info.html
Izvor metapodataka: Migrirano iz RIS podataka
M-kategorija: 
Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Pronađi DOI


Google ScholarTM

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.