Rezultati
| Naziv: | ECR Plasma Etching Characterization using a Retarding Field Energy Analyzer | Autori: | Milosavljević, Vladimir |
Godina: | 2012 | Publikacija: | The AVS 59th International Symposium and Exhibition, Tampa, Florida, USA | Izdavač: | SAD | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | str. PS1-WeA1.192-PS1-WeA1.192 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/165782 | URL: | http://www2.avs.org/symposium/AVS59/pages/info.html | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.