Rezultati
| Naziv: | Plasma damage of low-k dielectric materials | Autori: | Milosavljević, Vladimir M.   ; E. Gudimenko; C. Hayden; S. Daniels |
Godina: | 2010 | Publikacija: | The 37th IOP Annual Conference on Plasma Physics | Izdavač: | IOP, Windermere, UK | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | str. 53-54 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/253421 | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.