Rezultati

еНаука >  Резултати >  The Implementation of the Surface Charging Effects in Three-Dimensional Simulations of SiO<sub>2</sub> Etching Profile Evolution
Назив: The Implementation of the Surface Charging Effects in Three-Dimensional Simulations of SiO<sub>2</sub> Etching Profile Evolution
Аутори: Rađenović, Branislav  ; Radmilović-Rađenović, Marija  
Година: 2014
Публикација: Engineering
ISSN: 1947-3931 Претражи идентификатор
Тип резултата: Научни чланак
Колација: vol. 06 br. 01 str. 1-6
DOI : 10.4236/eng.2014.61001
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/298090
Извор метаподатака: Migrirano iz RIS podataka
М-категорија: 
Мп категорија ће бити приказана накнадно.

10
OpenCitations
Alt metrika
Dimensions
Unpaywall

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.