Резултати
еНаука >
Резултати >
Application of the level set method in three-dimensional simulations of the etching profile evolution for producing nano-scale devices
| Назив: | Application of the level set method in three-dimensional simulations of the etching profile evolution for producing nano-scale devices | Аутори: | Rađenović, Branislav   ; Radmilović-Rađenović, Marija |
Година: | 2011 | Публикација: | Optoelectronics and Advanced Materials-Rapid Communications | ISSN: | 1842-6573 Optoelectronics and Advanced Materials-Rapid Communications Претражи идентификатор |
Издавач: | INOE Publishing House | Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 4 br. 8 str. 1193-1195 | WoS-ID: | 000281734800032 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/363191 | URL: | https://oam-rc.inoe.ro/download.php?idu=1194 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | 23M23 - Међународни часопис категорије M23 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.