Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Realizacija Si mikrogredica vlažnim hemijskim nagrizanjem na podlogama (100) orijentacije primenom (100) kompenzacionih traka
| Naziv: | Realizacija Si mikrogredica vlažnim hemijskim nagrizanjem na podlogama (100) orijentacije primenom (100) kompenzacionih traka Realization of Si microcantilevers by wet anisotropic etching on {100} oriented substrates applying <100>compensation beams |
Autori: | Jović, Vesna; Lamovec, Jelena   ; Mladenović, Ivana ; Smiljanić, Milče ; Lazić, Žarko |
Godina: | 2013 | Publikacija: | Proceedings - 57th ETRAN Conference, 03-06.06.2013, Zlatibor, Serbia | Izdavač: | Beograd : Društvo za elektroniku, telekomunikacije, računarstvo, automatiku i nuklearnu tehniku | Tip rezultata: | Konferencijski rad | ISBN: | 978-86-80509-68-6  Pretraži identifikator |
Kolacija: | br. MO 3.4 str. 1-5 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/597702 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5743 |
Projekat: | Микро, нано-системи и сензори за примену у електропривреди, процесној индустрији и заштити животне средине | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM