eNauka - pregled
Pregled prema Autor Miyauchi, M
Prikaz rezultata 1 do 1 od 1
| Godina | Naslov | Autor(i) | Tip rezultata | Mp-kat. |
|---|---|---|---|---|
| 2007 | Optical emission diagnostics of etching of low-k dielectrics in a two frequency inductively coupled plasma | Miyauchi, M; Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj   ; Makabe, Toshiaki | Naučni članak | 21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21 |