eNauka - pregled

Pregled prema Autor Miyoshi, Y

Prikaz rezultata 1 do 4 od 4
GodinaNaslovAutor(i)Tip rezultataMp-kat.
2004Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasmaDenda, T; Miyoshi, Y; Komukai, Y; Goto, T; Petrovic, Zoran Lj  ; Makabe, ToshiakiNaučni članak
21aM21a - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21a
2002Optical computerized tomography of the E-H transition in inductively coupled plasmas in Ar and Ar-CF4 mixturesMiyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj  ; Makabe, ToshiakiNaučni članak
21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21
2007Optical emission diagnostics of etching of low-k dielectrics in a two frequency inductively coupled plasmaMiyauchi, M; Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj  ; Makabe, ToshiakiNaučni članak
21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21
2002Transition between capacitive and inductive mode in inductively coupled plasma observed by emission computerized tomographyMiyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj  ; Makabe, ToshiakiNaučni članak
22M22 - Međunarodni časopis kategorije M22