eNauka - pregled
Pregled prema Autor Miyoshi, Y
Prikaz rezultata 1 do 4 od 4
| Godina | Naslov | Autor(i) | Tip rezultata | Mp-kat. |
|---|---|---|---|---|
| 2004 | Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma | Denda, T; Miyoshi, Y; Komukai, Y; Goto, T; Petrovic, Zoran Lj | Naučni članak | 21aM21a - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21a |
| 2002 | Optical computerized tomography of the E-H transition in inductively coupled plasmas in Ar and Ar-CF4 mixtures | Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj | Naučni članak | 21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21 |
| 2007 | Optical emission diagnostics of etching of low-k dielectrics in a two frequency inductively coupled plasma | Miyauchi, M; Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj | Naučni članak | 21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21 |
| 2002 | Transition between capacitive and inductive mode in inductively coupled plasma observed by emission computerized tomography | Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj | Naučni članak | 22M22 - Međunarodni časopis kategorije M22 |