Резултати
еНаука >
Резултати >
Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma
| Назив: | Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma | Аутори: | Denda, T; Miyoshi, Y; Komukai, Y; Goto, T; Petrovic, Zoran Lj |
Година: | 2004 | Публикација: | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | ISSN: | 0021-8979 Journal of Applied Physics Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 95 br. 3 str. 870-876 | DOI: | 10.1063/1.1636527 | WoS-ID: | 000188281800011 | Scopus-ID: | 2-s2.0-1142304540 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/829659 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | М-категорија: | 21aM21a - Водећи међународни часопис категорије M21a |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.