Резултати

еНаука >  Резултати >  Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma
Назив: Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma
Аутори: Denda, T; Miyoshi, Y; Komukai, Y; Goto, T; Petrovic, Zoran Lj  ; Makabe, Toshiaki
Година: 2004
Публикација: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
ISSN: 0021-8979 Journal of Applied Physics Претражи идентификатор
Тип резултата: Научни чланак
Колација: vol. 95 br. 3 str. 870-876
DOI: 10.1063/1.1636527
WoS-ID: 000188281800011
Scopus-ID: 2-s2.0-1142304540
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/829659
Извор метаподатака: (Preuzeto iz Nasi u WoS)
М-категорија: 
21aM21a - Водећи међународни часопис категорије M21a

66
SCOPUSTM
60
OpenCitations
66
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.