Резултати
eNauka >
Rezultati >
Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma
| Naziv: | Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma | Autori: | Denda, T; Miyoshi, Y; Komukai, Y; Goto, T; Petrovic, Zoran Lj |
Godina: | 2004 | Publikacija: | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | ISSN: | 0021-8979 Journal of Applied Physics Pretraži identifikator |
Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 95 br. 3 str. 870-876 | DOI: | 10.1063/1.1636527 | WoS-ID: | 000188281800011 | Scopus-ID: | 2-s2.0-1142304540 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/829659 | Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-kategorija: | 21aM21a - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21a |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.