Browsing eNauka
Browsing by Author D. Gahan
Showing results 1 to 3 of 3
| Issue Date | Title | Author(s) | Type | Мp-cat. |
|---|---|---|---|---|
| 2011 | Characterization of an ECR Etching Reactor using a Retarding Field Energy Analyzer | Milosavljević, Vladimir | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
| 2011 | Characterization of atomic oxygen emission by PROES and Ion-flux measurement in an ECR plasma etcher | Milosavljević, Vladimir | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
| 2012 | ECR Plasma Etching Characterization using a Retarding Field Energy Analyzer | Milosavljević, Vladimir | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |