Резултати
| Назив: | ECR Plasma Etching Characterization using a Retarding Field Energy Analyzer | Аутори: | Milosavljević, Vladimir   ; B. Dolinaj; D. Gahan; N. Macgarailt; M. B. Hopkins; S. Daniels |
Година: | 2012 | Публикација: | The AVS 59th International Symposium and Exhibition, Tampa, Florida, USA | Издавач: | SAD | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. PS1-WeA1.192-PS1-WeA1.192 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/165782 | URL: | http://www2.avs.org/symposium/AVS59/pages/info.html | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.