еНаука - преглед
Преглед према Аутор Miyoshi, Y
Приказ резултата 1 до 4 од 4
| Година | Наслов | Аутор(и) | Тип резултата | Мп-кат. |
|---|---|---|---|---|
| 2004 | Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma | Denda, T; Miyoshi, Y; Komukai, Y; Goto, T; Petrovic, Zoran Lj   ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21aM21a - Водећи међународни часопис категорије M21a |
| 2002 | Optical computerized tomography of the E-H transition in inductively coupled plasmas in Ar and Ar-CF4 mixtures | Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 2007 | Optical emission diagnostics of etching of low-k dielectrics in a two frequency inductively coupled plasma | Miyauchi, M; Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 2002 | Transition between capacitive and inductive mode in inductively coupled plasma observed by emission computerized tomography | Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |