eNauka - pregled
Pregled prema Autor N. Macgarailt
Prikaz rezultata 1 do 4 od 4
| Godina | Naslov | Autor(i) | Tip rezultata | Mp-kat. |
|---|---|---|---|---|
| 2011 | Characterization of an ECR Etching Reactor using a Retarding Field Energy Analyzer | Milosavljević, Vladimir | Konferencijski rad | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
| 2011 | Characterization of atomic oxygen emission by PROES and Ion-flux measurement in an ECR plasma etcher | Milosavljević, Vladimir | Konferencijski rad | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
| 2012 | ECR Plasma Etching Characterization using a Retarding Field Energy Analyzer | Milosavljević, Vladimir | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
| 2012 | Spatial and Time Resolved Optical Emission Spectroscopy of an ECR Plasma Etcher | Milosavljević, Vladimir | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |