еНаука - преглед
Преглед према Аутор N. Macgarailt
Приказ резултата 1 до 4 од 4
| Година | Наслов | Аутор(и) | Тип резултата | Мп-кат. |
|---|---|---|---|---|
| 2011 | Characterization of an ECR Etching Reactor using a Retarding Field Energy Analyzer | Milosavljević, Vladimir | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
| 2011 | Characterization of atomic oxygen emission by PROES and Ion-flux measurement in an ECR plasma etcher | Milosavljević, Vladimir | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
| 2012 | ECR Plasma Etching Characterization using a Retarding Field Energy Analyzer | Milosavljević, Vladimir | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
| 2012 | Spatial and Time Resolved Optical Emission Spectroscopy of an ECR Plasma Etcher | Milosavljević, Vladimir | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |