еНаука - преглед

Преглед према Аутор Shemukhin, Andrey A.

Приказ резултата 1 до 1 од 1
ГодинаНасловАутор(и)Тип резултатаМп-кат.
2019Influence of the Charge State of Xenon Ions on the Depth Distribution Profile Upon Implantation into SiliconBalakshin, Yu. V.; Kozhemiako, A. V.; Petrović, Srđan M.  ; Erich, Marko  ; Shemukhin, Andrey A.; Chernysh, Vladimir S.Научни чланак
23M23 - Међународни часопис категорије M23