еНаука - преглед
Преглед према Пројекат Ministry of Science and Environmental Protection of Serbia [141025]
Приказ резултата 1 до 1 од 1
| Година | Наслов | Аутор(и) | Тип резултата | Мп-кат. |
|---|---|---|---|---|
| 2008 | Dynamics of the profile charging during SiO2 etching in plasma for high aspect ratio trenches | Radjenovic, Branislav M   ; Radmilovic-Radjenovic, Marija D ; Petrovic, Zoran Lj | Научни чланак | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |