eNauka - pregled
Pregled prema Projekat Ministry of Science and Environmental Protection of Serbia [141025]
Prikaz rezultata 1 do 1 od 1
| Godina | Naslov | Autor(i) | Tip rezultata | Mp-kat. |
|---|---|---|---|---|
| 2008 | Dynamics of the profile charging during SiO2 etching in plasma for high aspect ratio trenches | Radjenovic, Branislav M   ; Radmilovic-Radjenovic, Marija D ; Petrovic, Zoran Lj | Naučni članak | 22M22 - Međunarodni časopis kategorije M22 |