Characterization of an ECR Etching Reactor using a Retarding Field Energy Analyzer

Milosavljević, Vladimir; B. Dolinaj; D. Gahan; N. Macgarailt; M. B. Hopkins; S. Daniels

Rezultati

eNauka > Rezultati > Characterization of an ECR Etching Reactor using a Retarding Field Energy Analyzer

Naziv:	Characterization of an ECR Etching Reactor using a Retarding Field Energy Analyzer
Autori:	Milosavljević, Vladimir ; B. Dolinaj; D. Gahan; N. Macgarailt; M. B. Hopkins; S. Daniels
Godina:	2011
Publikacija:	The AVS 58th International Symposium and Exhibition, Nashville, Tennessee, USA
Izdavač:	AVS, SAD
Tip rezultata:	Konferencijski rad
Kolacija:	str. PS-ThP22.170-PS-ThP22.170
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/370892
URL:	http://www2.avs.org/symposium/AVS58/pages/greetings.html
Izvor metapodataka:	Migrirano iz RIS podataka
M-kategorija:	Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Pronađi DOI

Pronalaženje DOI u servisu CrossRef-u na osnovu meta-podataka u zapisu. Prikazaće se DOI (i metapodaci) čiji se podaci najviše poklapaju. OPREZ - to ne mora biti ta publikacija.

Google Scholar^TM

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.