Резултати

eNauka >  Results >  Glass Micromachining with Sputtered Silicon as a Masking Layer
Title: Glass Micromachining with Sputtered Silicon as a Masking Layer
Authors: Lazić, Žarko  ; Smiljanić, Milče  ; Rašljić, Milena  
Issue Date: 2014
Publication: Proceedings of the International Conference on Microelectronics, ICM
ISSN: 2159-1660 Search Idenfier
Publisher: Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
Type: Conference Paper
Collation: str. 175-178
DOI: 10.1109/MIEL.2014.6842114
WoS-ID: 000360788600034
Scopus-ID: 2-s2.0-84904689658
URI: https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/1449
https://enauka.gov.rs/handle/123456789/416952
M-category: 
Mp. category will be shown later

2
SCOPUSTM
2
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Google ScholarTM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.