Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Evolution of Si Crystallographic Planes-Etching of Square and Circle Patterns in 25 wt % TMAH
| Naziv: | Evolution of Si Crystallographic Planes-Etching of Square and Circle Patterns in 25 wt % TMAH | Autori: | Smiljanić, Milče   ; Lazić, Žarko ; Rađenović, Branislav ; Radmilović-Radjenović, Marija ; Jović, Vesna |
Godina: | 2019 | Publikacija: | Micromachines | ISSN: | 2072-666X Micromachines Pretraži identifikator |
Izdavač: | MDPI | Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 10 br. 2 str. 102-102 | DOI: | 10.3390/mi10020102 | WoS-ID: | 000460798200027 | Scopus-ID: | 2-s2.0-85061206432 | PMID: | 30708946 | PMCID: | PMC6412402 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/2640 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/479744 |
URL: | http://www.mdpi.com/2072-666X/10/2/102 | Projekat: | Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine (RS-32008) Nelinearna fotonika nehomogenih sredina i površina (RS-171036) |
M-kategorija: | 22M22 - Međunarodni časopis kategorije M22 |
