Резултати
| Title: | Analysis of a capacitively coupled dual-frequency CF4 discharge | Authors: | Donko, Zoltan; Petrovic, Zoran Lj   |
Issue Date: | 2006 | Publication: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR | ISSN: | 0021-4922 Japanese Journal of Applied Physics Search Idenfier |
Type: | Article | Collation: | vol. 45 br. 10S str. 8151-8151 | DOI: | 10.1143/JJAP.45.8151 | WoS-ID: | 000241902900026 | Scopus-ID: | 2-s2.0-34248638705 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/827467 | Metadata source: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-category: | 22M22 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.