Истраживачи

Резултати 161-180 од 242
ГодинаНасловАутор(и)Тип резултатаМп-кат.
2009Modeling of the effect of radicals on plasmas used for etching in microelectronicsNikitovic, Zeljka  ; Radjenovic, Radmilovic Marija  ; Stojanovic, Vladimir; Petrović, ZoranКонференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2009Electron transport coefficients in mixtures of CF4</sub>and CF2</sub>radicalsZeljka Nikitovic  ; Željka D Nikitović; Vladimir D Stojanović; Jean Paul Booth; Zoran Lj PetrovićНаучни чланак
21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21
2009Modellingof discharges at high E/N in mixtures of CF4, O2 and ArNikitovic, Zeljka  ; Stojanovic, Vladimir; Petrovic, Zoran Lj.Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2009On the Role of Radicals in Kinetics of Plasma Etchers in Ar/CF4</sub>MixturesZeljka Nikitovic  ; Ž. Nikitović; V. Stojanović; Z.Lj. PetrovićНаучни чланак
23M23 - Међународни часопис категорије M23
2009Transport Coefficients and Cross Section Set for Electron Scattering in Mixtures CF4, Ar and O2Nikitovic, Zeljka  ; Stojanovic, Vladimir; Petrovic, Zoran Lj.Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2009Time resolved H emission in pure hydrogen dischargeNikitovic, Zeljka  ; Stojanovic, Vladimir; Petrovic, Zoran Lj.Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2009Theoretical foundations, numerical techniques and application of transport coefficients in modelling of plasmas and gas breakdownPetrovic, Zoran Lj.; Sasa Dujko  ; Nikitovic, Zeljka  ; Stojanovic, Vladimir; Savic, M.; Radjenovic, Radmilovic M.  ; Maric, D.  ; Malovic, G.  ; Bankovic, AnaКонференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008The role of radicals in kinetics of plasma etchers in Ar/CF4 mixturesNikitovic, Z.  ; Stojanovic, V.; Petrovic, Z. Lj.Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008Thermalization of High Energy Electrons in NitrogenStojanovic, Vladimir; Nikitovic, Zeljka  ; Petrovic, Zoran Lj.Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008Voltampere Characteristics of Low Current Micro Discharges and Transport Coefficients in CFx/CF4 MixturesPetrovic, Zoran Lj.; Marić, Dragana  ; Nikitovic, Zeljka  ; C. M. O. Mahony; P. D. Maguire; Radjenovic, Radmilovic Marija  ; Nikola Skoro  ; Stojanovic, VladimirКонференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008Arrival Time Spectra of Heavy Particles in Hydrogen DischargeStojanovic, Vladimir; Nikitovic, Zeljka  ; Petrovic, Zoran Lj.Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008Measurements and analysis of spatial profiles of 777.4 nm line in a townsend discharge in oxygenNikitović, Ž.  ; Strinić, A.; Malović, G.; Stojanović, V.; Petrović, Z.Lj.  Научни чланак
22M22 - Међународни часопис категорије M22
2008Electron Transport in X/CF4 Mixtures (X=F, F2, CF, CF2, CF3)Nikitovic, Z.  ; Stojanovic, V.; Petrovic, Z. Lj.Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008Electron detachment of h- ions in hydrogen dischargeStojanović, Vladimir D.; Raspopović, Zoran  ; Jovanović, Jasmina  ; Nikitović, Željka D.  ; Petrović, Z. Lj.  Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008Određivanje transportnih koeficijenata u smeši BF3 i F2Nikitovic, Zeljka  ; Stojanovic, Vladimir; Sasic, Olivera; Raspopovic, Zoran  ; Petrovic, Zoran Lj.Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008Basic Phenomena and Data for Modelling of Interactions Between Surfaces and Gas DischargesPetrovic, Zoran Lj.; Radjenovic, Radmilovic Marija  ; Maric, Dragana  ; Malovic, Gordana  ; Stojanovic, Vladimir; Nikitovic, Zeljka  Конференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008Modeling Of High E/n In Mixtures Of Cf4 And Its RadicalsZeljka Nikitovic  ; Stojanovic Vladimir D;  Petrovic Zoran LjКонференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008Elektronski transportni koeficijenti za smešu CF4 sa F i F2Nikitovic, Zeljka  ; Stojanovic, Vladimir; Petrovic, Zoran Lj.  Научни чланак
52M52 - Национални часопис категорије M52
2008Kinetic phenomena and data for cross sections for electrons, positrons and negative ions in ionized gasesPetrovic, Zoran Lj.; Sasa Dujko  ; Jovanovic, Jasmina; Sasic, Olivera; S. Dupljanin; Malovic, G.  ; Nikitovic, Zeljka  ; Stojanovic, Vladimir; Bankovic, AnaКонференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.
2008Transport coefficients for electrons in BF3Petrovic, Zoran Lj.; Sasic, Olivera; Raspopovic, Zoran  ; Nikitovic, Zeljka  ; Stojanovic, Vladimir; Svetlana Radovanov; Ludovic, GodetКонференцијски рад
Мп категорија ће бити приказана накнадно.