Резултати
| Назив: | The role of radicals in kinetics of plasma etchers in Ar/CF4 mixtures | Аутори: | Nikitovic, Z.   ; Stojanovic, V.; Petrovic, Z. Lj. |
Година: | 2008 | Публикација: | The Tenth Yugoslav Materials Research Society Conference “YUCOMAT”, Book of Abstracts, Editor: Prof. dr Dragan P. Uskoković 8-12 September 2008, Herceg-Novi, Montenegro (2008) [P.S.B.16] 105 | Тип резултата: | Конференцијски рад | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/782282 | URL: | https://dais.sanu.ac.rs/bitstream/id/19959/122.pdf | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz ORCID-a) Nikitovic, Zeljka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.