| Naziv: | Nove primene procesa nagrizanja silicijuma u vodenom rastvoru TMAH u izradi MEMS senzora
New applications of silicon wet etching using tmah water solution for fabrication of mems sensors. |
Autori: | Smiljanić, Milče   |
Mentor: | Jakšić, Zoran |
Ostala autorstva: | Tadić, Milan; Mihailović, Peđa ; Jović, Vesna ; Petričević, Slobodan |
Godina: | 2013 |
Publikacija: | Универзитет у Београду |
Izdavač: | Београд, Србија : Универзитет у Београду, Електротехнички факултет |
Tip rezultata: | Doktorska disertacija |
VBS COBISS: | 45330191 |
URI: | http://nardus.mpn.gov.rs/123456789/5828
http://eteze.bg.ac.rs/application/showtheses?thesesId=3279
https://nardus.mpn.gov.rs/handle/123456789/5828
https://enauka.gov.rs/handle/123456789/126558
https://fedorabg.bg.ac.rs/fedora/get/o:11701/bdef:Content/download
https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/2578 |
Projekat: | Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine (RS-32008) |
M-kategorija: | 70M70 - Odbranjena doktorska disertacija |
