Резултати
еНаука >
Резултати >
Non-contact measurement of thickness uniformity of chemically etched Si membranes by fiber-optic low-coherence interferometry
Назив  : | Non-contact measurement of thickness uniformity of chemically etched Si membranes by fiber-optic low-coherence interferometry | Аутори: | Đinović, Zoran  ; Tomić, Miloš  ; Manojlović, Lazo ; Lazić, Žarko ; Smiljanić, Milče |
Година: | 2008 | Публикација: | 26th International Conference on Microelectronics, Vols 1 and 2, Proceedings | ISSN: | 2159-1660  Претражи идентификатор |
Издавач: | Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 321-324 | DOI: | 10.1109/ICMEL.2008.4559286 | WoS-ID: | 000257432600065 | Scopus-ID: | 2-s2.0-51749087483 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/126666 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/422 |
Пројекат: | Austrian Science Fund (FWF) - L139-N02 Integrated Microsystems Austria IMA GmbH |
М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.