Резултати
еНаука >
Резултати >
Non-contact measurement of thickness uniformity of chemically etched Si membranes by fiber-optic low-coherence interferometry
Назив  : | Non-contact measurement of thickness uniformity of chemically etched Si membranes by fiber-optic low-coherence interferometry | Аутори: | Đinović, Zoran  ; Tomić, Miloš  ; Manojlović, Lazo ; Lazić, Žarko ; Smiljanić, Milče M. |
Година: | 2008 | Публикација: | Micro Electronic and Mechanical Systems | Издавач: | IntechOpen | Тип резултата: | Поглавље у монографији | ISBN: | 978-953-307-027-8  Претражи идентификатор |
Колација: | str. 51-60 | DOI: | 10.5772/7003 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/4442 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/126667 |
Пројекат: | The Austrian Science Fund (FWF) - the Project L139-N02 “Nanoscale measurement of physical parameters” The Integrated Microsystems Austria, IMA GmbH |
М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
