Резултати

еНаука >  Резултати >  Silicon surface exfoliation under compression plasma flow action
Назив: Silicon surface exfoliation under compression plasma flow action
Аутори: Dojčinović, Ivan P.  ; Kuraica, Milorad M.  ; Randjelović, Danijela  ; Mati, Ć M.; Puri, Ć J.
Година: 2006
Публикација: 25th International Conference on Microelectronics, MIEL 2006 - Proceedings
Издавач: IEEE
Тип резултата: Конференцијски рад
Колација: str. 145-148
DOI: 10.1109/ICMEL.2006.1650915
WoS-ID: 000238839700025
Scopus-ID: 2-s2.0-77956512249
URI: https://physrep.ff.bg.ac.rs/handle/123456789/311
https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/284
https://enauka.gov.rs/handle/123456789/202347
М-категорија: 
Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Алт метрика
Dimensions

Пронађи DOI
Unpaywall

Google ScholarTM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.