Резултати
| Назив: | Wet etch rates and selectivity in DIMES CR100 etching line | Аутори: | Branko Vukelić; Obradov, Marko   ; Bogdan Rosandić; S. Milosavljević; Lamovec, Jelena |
Година: | 2011 | Публикација: | Proc. 55th Conference for Electronics, Telecommunications, Computers, Automation and Nuclear Engineering ETRAN | Издавач: | Drustvo za ETRAN, Bosna i Hercegovina | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 978-86-80509-66-2  Претражи идентификатор |
Колација: | str. MO3.4.1-MO3.4.4 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/226968 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.