Rezultati
| Naziv: | Wet etch rates and selectivity in DIMES CR100 etching line | Autori: | Branko Vukelić; Obradov, Marko   ; Bogdan Rosandić; S. Milosavljević; Lamovec, Jelena |
Godina: | 2011 | Publikacija: | Proc. 55th Conference for Electronics, Telecommunications, Computers, Automation and Nuclear Engineering ETRAN | Izdavač: | Drustvo za ETRAN, Bosna i Hercegovina | Tip rezultata: | Konferencijski rad | ISBN: | 978-86-80509-66-2  Pretraži identifikator |
Kolacija: | str. MO3.4.1-MO3.4.4 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/226968 | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.