Резултати
еНаука >
Резултати >
Spatial and Time Resolved Optical Emission Spectroscopy of an ECR Plasma Etcher
| Назив: | Spatial and Time Resolved Optical Emission Spectroscopy of an ECR Plasma Etcher | Аутори: | Milosavljević, Vladimir   ; N. Macgarailt; S. Daniels |
Година: | 2012 | Публикација: | AVS 59th International Symposium and Exhibition | Издавач: | AVS, SAD | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 193-193 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/247628 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.