Резултати

eNauka >  Rezultati >  Cleaning of Organic Contamination from EUV Optics Surfaces Using Hydrogen-based Plasmas
Naziv: Cleaning of Organic Contamination from EUV Optics Surfaces Using Hydrogen-based Plasmas
Autori: Škoro, Nikola  ; E. Gogolides
Godina: 2012
Publikacija: 13th International Conference on Plasma Surface Engineering
Izdavač: PSE, Garmisch-Partenkirchen, Germany
Tip rezultata: Konferencijski rad
Kolacija: str. PO1029-1-PO1029-4
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/278126
Izvor metapodataka: Migrirano iz RIS podataka
M-kategorija: 
Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Find the DOI

Google ScholarTM

Items in eNauka are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.