Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Cleaning of Organic Contamination from EUV Optics Surfaces Using Hydrogen-based Plasmas
| Naziv: | Cleaning of Organic Contamination from EUV Optics Surfaces Using Hydrogen-based Plasmas | Autori: | Škoro, Nikola   ; E. Gogolides |
Godina: | 2012 | Publikacija: | 13th International Conference on Plasma Surface Engineering | Izdavač: | PSE, Garmisch-Partenkirchen, Germany | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | str. PO1029-1-PO1029-4 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/278126 | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.