Rezultati
еНаука >
Резултати >
Cleaning of Organic Contamination from EUV Optics Surfaces Using Hydrogen-based Plasmas
| Назив: | Cleaning of Organic Contamination from EUV Optics Surfaces Using Hydrogen-based Plasmas | Аутори: | Škoro, Nikola   ; E. Gogolides |
Година: | 2012 | Публикација: | 13th International Conference on Plasma Surface Engineering | Издавач: | PSE, Garmisch-Partenkirchen, Germany | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. PO1029-1-PO1029-4 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/278126 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.