Резултати
еНаука >
Резултати >
Depth profiling of high energy nitrogen ions implanted in the (100), (110) and randomly oriented silicon crystals
| Назив: | Depth profiling of high energy nitrogen ions implanted in the (100), (110) and randomly oriented silicon crystals | Аутори: | Erich, Marko |
Година: | 2012 | Публикација: | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms | ISSN: | 0168-583X Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Претражи идентификатор1872-9584 Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 274 str. 87-92 | DOI: | 10.1016/j.nimb.2011.12.008 | WoS-ID: | 000301611900011 | Scopus-ID: | 2-s2.0-84855171283 | URI: | https://vinar.vin.bg.ac.rs/handle/123456789/4749 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/310301 |
Пројекат: | SPIRIT - Support of Public and Industrial Research using Ion Beam Technology (EU-227012) Fizika i hemija sa jonskim snopovima (RS-45006) |
М-категорија: | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.