Резултати
еНаука >
Резултати >
Three dimensional simulation of the surface roughness by isotropic and anisotropic etch processes
Назив: | Three dimensional simulation of the surface roughness by isotropic and anisotropic etch processes | Аутори: | Radmilović-Rađenović, Marija ![]() ![]() ![]() ![]() |
Година: | 2010 | Публикација: | 63th Annual Gaseous Electronics Conference | ISSN: | 0003-0503![]() ![]() |
Издавач: | American Physical Society, France | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | vol. 55 br. 7 str. KWP.57-KWP.57 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/343547 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.