Резултати
еНаука >
Резултати >
Micromachining by maskless wet anisotropic etching {hkl} structures on {100} oriented silicon
| Назив: | Micromachining by maskless wet anisotropic etching {hkl} structures on {100} oriented silicon | Аутори: | Jović, Vesna |
Година: | 2010 | Публикација: | 27th International Conference on Microelectronics, MIEL 2010 - Proceedings | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 978-142447201-7 ИСБН није валидан Претражи идентификатор |
Колација: | str. 243-246 | DOI: | 10.1109/MIEL.2010.5490489 | Scopus-ID: | 2-s2.0-77955182615 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/757 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/417976 |
URL: | http://eds.ieee.org/conferences.html | Пројекат: | Inteligentni industrijski transmiteri na bazi sopstvenih IHTM senzora (RS-11025) | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.