Резултати
eNauka >
Rezultati >
Microfabrication by Mask-maskless wet Anisotropic Etching for Realization of Multilevel Structures in {100} Oriented Si
| Naziv: | Microfabrication by Mask-maskless wet Anisotropic Etching for Realization of Multilevel Structures in {100} Oriented Si | Autori: | Jović, Vesna  ; Smiljanić, Milče  ; Lamovec, Jelena ; Popović, M. |
Godina: | 2012 | Publikacija: | 28th International Conference on Microelectronics - Proceedings, MIEL 2012 | ISSN: | 2159-1660  Pretraži identifikator |
Izdavač: | Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | str. 139-142 | DOI: | 10.1109/MIEL.2012.6222817 | WoS-ID: | 000309119600027 | Scopus-ID: | 2-s2.0-84864230506 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/1098 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/437295 |
Projekat: | Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine (RS-32008) European Commission 7th Framework Programme through the project Regmina, grant 205533 |
M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.