Резултати
еНаука >
Резултати >
Maskless convex corner compensation technique on a (100) silicon substrate in a 25 wt% TMAH water solution
| Назив: | Maskless convex corner compensation technique on a (100) silicon substrate in a 25 wt% TMAH water solution | Аутори: | Smiljanić, Milče |
Година: | 2012 | Публикација: | Journal of Micromechanics and Microengineering | ISSN: | 0960-1317 Journal of Micromechanics and Microengineering Претражи идентификатор |
Издавач: | Bristol : Iop Publishing Ltd. | Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 22 br. 11 str. 115011-115011 | DOI: | 10.1088/0960-1317/22/11/115011 | WoS-ID: | 000310534400012 | Scopus-ID: | 2-s2.0-84867921846 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/1118 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/437297 |
Пројекат: | Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine (RS-32008) | М-категорија: | 21aM21a - Водећи међународни часопис категорије M21a |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.