Резултати

еНаука >  Резултати >  Maskless convex corner compensation technique on a (100) silicon substrate in a 25 wt% TMAH water solution
Назив: Maskless convex corner compensation technique on a (100) silicon substrate in a 25 wt% TMAH water solution
Аутори: Smiljanić, Milče  ; Jović, Vesna ; Lazić, Žarko  
Година: 2012
Публикација: Journal of Micromechanics and Microengineering
ISSN: 0960-1317 Journal of Micromechanics and Microengineering Претражи идентификатор
Издавач: Bristol : Iop Publishing Ltd.
Тип резултата: Научни чланак
Колација: vol. 22 br. 11 str. 115011-115011
DOI: 10.1088/0960-1317/22/11/115011
WoS-ID: 000310534400012
Scopus-ID: 2-s2.0-84867921846
URI: https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/1118
https://enauka.gov.rs/handle/123456789/437297
Пројекат: Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine (RS-32008)
М-категорија: 
21aM21a - Водећи међународни часопис категорије M21a

21
SCOPUSTM
16
OpenCitations
19
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.