Резултати
еНаука >
Резултати >
Spatial phase-resolved optical emission spectroscopy for understanding plasma etching uniformity
| Назив: | Spatial phase-resolved optical emission spectroscopy for understanding plasma etching uniformity | Аутори: | Milosavljević, Vladimir   ; Cullen, P. J. |
Година: | 2015 | Публикација: | EPL | ISSN: | 0295-5075 Europhysics Letters / EPL Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 110 br. 4 str. 43001-43001 | DOI: | 10.1209/0295-5075/110/43001 | WoS-ID: | 000357060600013 | Scopus-ID: | 2-s2.0-84935857304 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/538509 https://physrep.ff.bg.ac.rs/handle/123456789/600 |
Извор метаподатака: | Migracija | М-категорија: | 21M21 - Рад у врхунском међ. часопису |
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.