Results

eNauka >  Rezultati >  Spatial phase-resolved optical emission spectroscopy for understanding plasma etching uniformity
Naziv: Spatial phase-resolved optical emission spectroscopy for understanding plasma etching uniformity
Autori: Milosavljević, Vladimir  ; Cullen, P. J.
Godina: 2015
Publikacija: EPL
ISSN: 0295-5075 Europhysics Letters / EPL Pretraži identifikator
Tip rezultata: Naučni članak
Kolacija: vol. 110 br. 4 str. 43001-43001
DOI: 10.1209/0295-5075/110/43001
WoS-ID: 000357060600013
Scopus-ID: 2-s2.0-84935857304
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/538509
https://physrep.ff.bg.ac.rs/handle/123456789/600
Izvor metapodataka: Migracija
M-kategorija: 
21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21

5
SCOPUSTM
6
OpenCitations
3
WEB OF SCIENCETM
Altmetric
Dimensions
Unpaywall

Items in eNauka are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.