Резултати
еНаука >
Резултати >
Ion beam modification of structural and electrical properties of TiN thin films
| Назив: | Ion beam modification of structural and electrical properties of TiN thin films | Аутори: | Popović, Maja |
Година: | 2008 | Публикација: | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms | ISSN: | 0168-583X Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 266 br. 10 str. 2507-2510 | DOI: | 10.1016/j.nimb.2008.03.032 | WoS-ID: | 000257185600094 | Scopus-ID: | 2-s2.0-44649108220 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/549594 https://vinar.vin.bg.ac.rs/handle/123456789/6769 |
М-категорија: | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.