Резултати
еНаука >
Резултати >
Spatial and Time Characteristics of Low Temperature RF Plasma for Materials Processing
| Назив: | Spatial and Time Characteristics of Low Temperature RF Plasma for Materials Processing | Аутори: | Djurović Stevica  ; Roberts R; Olthoff J. K |
Година: | 1993 | Публикација: | XVI Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized gases Contributed Papers and Abstracts of invited lectures and progress reports, 16th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized gases, Belgrade, Yugoslavia, 1993, No 16 | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 86-80055-46-8  Претражи идентификатор |
Колација: | str. 73-92 | URI: | https://www.cris.uns.ac.rs/record.jsf?recordId=7524&source=eNauka&language=en https://enauka.gov.rs/handle/123456789/585156 |
М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.