Резултати
еНаука >
Резултати >
Diagnostics of silicon submicron cylindrical structures obtained by plasma flow action
| Назив: | Diagnostics of silicon submicron cylindrical structures obtained by plasma flow action | Аутори: | Dojčinović, Ivan |
Година: | 2006 | Публикација: | Vacuum | ISSN: | 0042-207X Vacuum Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 80 br. 11-12 str. 1381-1385 | DOI: | 10.1016/j.vacuum.2006.01.020 | WoS-ID: | 000240753400049 | Scopus-ID: | 2-s2.0-33747801032 | URI: | https://physrep.ff.bg.ac.rs/handle/123456789/306 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/607439 |
М-категорија: | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.