Резултати
еНаука >
Резултати >
Elimination of impurities from the surface of silicon using hydrochloric and nitric acid
| Назив: | Elimination of impurities from the surface of silicon using hydrochloric and nitric acid | Аутори: | Visnovec, Karl; Variawa, Chirag; Utigard, Torstein A.; Mitrašinović, Aleksandar |
Година: | 2013 | Публикација: | Materials Science in Semiconductor Processing | ISSN: | 1369-8001 Materials Science in Semiconductor Processing Претражи идентификатор |
Издавач: | Elsevier | Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 16 br. 1 str. 106-110 | DOI: | 10.1016/j.mssp.2012.06.009 | WoS-ID: | 000312468700016 | Scopus-ID: | 2-s2.0-84870424039 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/765180 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz ORCID-a) Mitrasinovic, Alex | М-категорија: | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.