Probes for measurement of current, voltage, and power in capacitively coupled RF plasmas

Puac, N; Dordjevic, A; Petrovic, ZL

Rezultati

eNauka > Rezultati > Probes for measurement of current, voltage, and power in capacitively coupled RF plasmas

Naziv :	Probes for measurement of current, voltage, and power in capacitively coupled RF plasmas
Autori:	Puac, N ; Dordjevic, A; Petrovic, ZL
Godina:	2002
Publikacija:	Applied Physics in Serbia-aps
Tip rezultata:	Naučni članak
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/773754
Izvor metapodataka:	(Preuzeto iz ORCID-a) Puac, Nevena
M-kategorija:	Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Pronađi DOI

Pronalaženje DOI u servisu CrossRef-u na osnovu meta-podataka u zapisu. Prikazaće se DOI (i metapodaci) čiji se podaci najviše poklapaju. OPREZ - to ne mora biti ta publikacija.

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.