Резултати
еНаука >
Резултати >
Structure investigation of photo-CVD silicon nitride films by IR and ESR spectroscopy
| Назив: | Structure investigation of photo-CVD silicon nitride films by IR and ESR spectroscopy | Аутори: | Nikolić, Goran |
Година: | 1990 | Публикација: | Vacuum | ISSN: | 0042-207X Vacuum Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 40 br. 1-2 str. 143-144 | DOI: | 10.1016/0042-207X(90)90140-T | Scopus-ID: | 2-s2.0-0025650212 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/789427 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz CrossRef-a) Nikolić, Goran | М-категорија: | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.