Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Top down nano technologies in production of integrated circuits and surface modification of materials
| Naziv: | Top down nano technologies in production of integrated circuits and surface modification of materials | Autori: | Petrovic, Zoran Lj |
Godina: | 2008 | Publikacija: | 2008 26TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS, VOLS 1 AND 2, PROCEEDINGS | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | str. 19-24 | DOI: | 10.1109/ICMEL.2008.4559216 | WoS-ID: | 000257432600004 | Scopus-ID: | 2-s2.0-51749115744 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/797832 | Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.