Резултати

eNauka >  Results >  Optical emission diagnostics of etching of low-k dielectrics in a two frequency inductively coupled plasma
Title: Optical emission diagnostics of etching of low-k dielectrics in a two frequency inductively coupled plasma
Authors: Miyauchi, M; Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj  ; Makabe, Toshiaki
Issue Date: 2007
Publication: SOLID-STATE ELECTRONICS
ISSN: 0038-1101 Solid-state Electronics Search Idenfier
Type: Article
Collation: vol. 51 br. 10 str. 1418-1424
DOI: 10.1016/j.sse.2007.08.012
WoS-ID: 000250964700022
Scopus-ID: 2-s2.0-35148843006
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/798725
Metadata source: (Preuzeto iz Nasi u WoS)
M-category: 
21M21

19
SCOPUSTM
18
OpenCitations
20
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.