Rezultati

eNauka >  Results >  Optical emission diagnostics of etching of low-k dielectrics in a two frequency inductively coupled plasma
Naziv: Optical emission diagnostics of etching of low-k dielectrics in a two frequency inductively coupled plasma
Autori: Miyauchi, M; Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj  ; Makabe, Toshiaki
Godina: 2007
Publikacija: SOLID-STATE ELECTRONICS
ISSN: 0038-1101 Solid-state Electronics Pretraži identifikator
Tip rezultata: Naučni članak
Kolacija: vol. 51 br. 10 str. 1418-1424
DOI: 10.1016/j.sse.2007.08.012
WoS-ID: 000250964700022
Scopus-ID: 2-s2.0-35148843006
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/798725
Izvor metapodataka: (Preuzeto iz Nasi u WoS)
M-kategorija: 
21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21

20
SCOPUSTM
18
OpenCitations
20
WEB OF SCIENCETM
Alt metrika
Dimensions
Unpaywall

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.