Резултати
| Назив: | Control of charging in high aspect ratio plasma etching of integrated circuits | Аутори: | Petrovic, Zoran Lj   ; Makabe, Toshiaki |
Година: | 2003 | Публикација: | TELSIKS 2003: 6TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON TELECOMMUNICATIONS IN MODERN SATELLITE, CABLE AND BROADCASTING SERVICE, VOLS 1 AND 2, PROCEEDINGS OF PAPERS | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 119-126 | WoS-ID: | 000188740300026 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/807605 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.