Browsing eNauka
Browsing by Author Makabe, Toshiaki
Showing results 1 to 20 of 22
next >
| Issue Date | Title | Author(s) | Type | Мp-cat. |
|---|---|---|---|---|
| 2009 | Argon metastable state densities in inductively coupled plasma in mixtures of Ar and O-2 | Hayashi, Y; Hirao, S; Zhang, Y; Gans, T; O'Connell, D; Petrovic, Zoran Lj   ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 2004 | Comparison of direct numerical procedure and Monte Carlo technique to determine the charging effects in submicron structures | Petrovic, Zoran Lj ; Sakadzic, S; Spasojevic, N; Matsui, J; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |
| 2003 | Control of charging in high aspect ratio plasma etching of integrated circuits | Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
| 2002 | Development of optical computerized tomography in capacitively coupled plasmas and inductively coupled plasmas for plasma etching | Makabe, Toshiaki; Petrovic, Zoran Lj | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 2000 | Diagnostics of an inductively coupled CF4/Ar plasma | Hioki, K; Hirata, H; Matsumura, S; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 2000 | Diffusion of electrons in time-dependent E(t) x B(t) fields | Raspopović, Zoran ; Sakadzic, S; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 1999 | Electron diffusion tensor in time dependent ExB fields | Raspopović, Zoran ; Sakadzic, S; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
| 2003 | Electron transport coefficients in SiH4 and Si2H6 in dc and rf fields | Shimada, T; Nakamura, Y; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 2004 | Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma | Denda, T; Miyoshi, Y; Komukai, Y; Goto, T; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21aM21a - Водећи међународни часопис категорије M21a |
| 2000 | Functional separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma | Kitajima, T; Takeo, Y; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21a+M21a+ - Водећи међународни часопис категорије M21a+ |
| 2002 | Kinetic phenomena in electron transport in radio-frequency fields | Petrovic, Zoran Lj ; Raspopović, Zoran ; Dujko, Sasa ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 2014 | Monte Carlo analysis of ionization effects on spatiotemporal electron swarm development | Dujko, Saša ; Raspopović, Zoran ; White, Ronald D.; Makabe, Toshiaki; Petrović, Zoran | Научни чланак | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |
| 2003 | Negative mobilities of electrons in radio frequency fields | Dujko, Sasa ; Raspopović, Zoran ; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |
| 2001 | Non-equilibrium plasmas in telecommunication related technologies | Petrovic, Zoran Lj ; Raspopovic, Zoran M ; Makabe, Toshiaki | Конференцијски рад | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
| 2002 | Optical computerized tomography of the E-H transition in inductively coupled plasmas in Ar and Ar-CF4 mixtures | Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 2007 | Optical emission diagnostics of etching of low-k dielectrics in a two frequency inductively coupled plasma | Miyauchi, M; Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 2001 | Optical emission spectroscopy of pulsed inductively coupled plasma in Ar | Hioki, K; Itazu, N; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
| 2006 | Plasma electronics - applications in microelectronic device fabrication | Makabe, Toshiaki; Petrović, Zoran Lj. | Остало | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
| 2002 | Transition between capacitive and inductive mode in inductively coupled plasma observed by emission computerized tomography | Miyoshi, Y; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |
| 2000 | Transport coefficients and scattering cross-sections for plasma modelling in CF4-Ar mixtures: a swarm analysis | Kurihara, M; Petrovic, Zoran Lj ; Makabe, Toshiaki | Научни чланак | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |